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dc.contributor.authorKhoudria, M ed Amine-
dc.contributor.authorTifoura, Hani Ouassim-
dc.date.accessioned2021-02-21T10:26:06Z-
dc.date.available2021-02-21T10:26:06Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.urihttp://di.univ-blida.dz:8080/jspui/handle/123456789/10083-
dc.description4.621.1.784 ; 84 p ; illustréfr_FR
dc.description.abstractL’objectif de ce travail c’est la réalisation des doigts interdigités sur AlN , pour application a un capteur de température a base de SAW. Cette réalisation est basée sur le traitement de photolithographie a l’aide de masque imprimé suite une simulation par Matlabplusieurséchantillons ont ete réalises avec différentsdémontion et espacement entre les IDT. nous avons utilisé deux modèle de résines a savoir ; AZ5214E et RER500.Cette étude a comme but la réalisation des micro motifs .La dernière étape c »est la métallisation et la libération des doigts et la caractérisation des dispositif ainsi que la mesure de signal.fr_FR
dc.language.isofrfr_FR
dc.title« Réalisation des doigts interdigités sur AlN »fr_FR
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