« Réalisation des doigts interdigités sur AlN »

Abstract

L’objectif de ce travail c’est la réalisation des doigts interdigités sur AlN , pour application a un capteur de température a base de SAW. Cette réalisation est basée sur le traitement de photolithographie a l’aide de masque imprimé suite une simulation par Matlabplusieurséchantillons ont ete réalises avec différentsdémontion et espacement entre les IDT. nous avons utilisé deux modèle de résines a savoir ; AZ5214E et RER500.Cette étude a comme but la réalisation des micro motifs .La dernière étape c »est la métallisation et la libération des doigts et la caractérisation des dispositif ainsi que la mesure de signal.