Etude et simulation d'un micro-réchauffeur pour capteur de gaz

Abstract

Les micro-réchauffeurs ont été largement étudiés en raison de leurs applications étendues dans les capteurs de gaz, les capteurs de débit et d'autres microsystèmes. L'optimisation géométrique du micro-réchauffeur a été étudiée en simulant une large gamme de géométries possibles à l'aide de COMSOL, un package commercial d'analyse par éléments finis (FEA). Les résultats simulés de micro-réchauffeurs ayant une distribution de température améliorée sur la zone de détection et une densité d'intégration plus élevée sont présentés dans ce rapport. Les micro-réchauffeurs sont conçus pour assurer une faible consommation d'énergie, une faible masse thermique et une meilleure uniformité de la température. Dans ce rapport, nous avons présenté différents modèles de micro-réchauffeurs avec leur profil de température simulé électrothermique. Pour la même tension d'alimentation appliquée, le profil de température uniforme et la consommation électrique du réchauffeur sont analysés pour tous les modèles et comparés.