Study of super junction diode performances using TCAD-SILVACO tools

Abstract

Certain composant de puissance à haute tension sont conçus en exploitant l’effet des super jonctions. Ce der nier permettra d’augmenter sensiblement la tension de claquage et réduit drastiquement la résistance à l’état passant (Ron). Dans ce travail, nous allons comparer une diode simple a jonction pn et une diode a tranchée profonde et une diode a super jonction en modifiant des certains paramètres technologiques et géométriques des structures, les résultats de cette étude seront présentés à l’aide du si mul ateur Atlas du logiciel Silvaco.