Étude de l’effet des deux techniques de terminaison sur un détecteur de particule a bord actif à l’aide des outils TCAD-SILVACO

Abstract

Pour des applications dédiées à la physique des hautes énergies comme celles qui entrent dans le cadre de l’expérience ATLAS du CERN à Genève, différents types de détecteurs à semiconducteurs sont actuellement étudiés. Dans ce travail, le choix a été porté sur un détecteur de

particules à semi-conducteur avec un bord active. Les performances électriques de ce détecteur

seront

étudiées en analysant certains paramètres géométriques et technologiques, comme le débordement du métal sur le pixel (Field plate) et la présence d'un anneau de garde dans la structure. Les résultats de cette étude seront présentés à l’aide du simulateur Atlas du logiciel SILVACO.