et simulation d’un capteur nanométrique à grille enr Étude et simulation d’un capteur nanométrique à grille enrobée cylindrique Étude et simulation d’un capteur obée cylindrique GAA MOSFET

Abstract

Dans ce mémoire, un MOSFET à grille enrobée (GAA) avec grille métallique catalytique est utilisé pour une sensibilité accrue du capteur de gaz.Le MOSFET GAA à canal n avec grille métallique en argent (Ag) est utilisé pour la détection de l'oxygène et le MOSFET GAA à canal P avec grille métallique au palladium (Pd) est utilisé pour la détection d'hydrogène.Le MOSFET à nanofils GAA a déjà fait l'objet d'une démonstration expérimentale pour des applications de détection biologique et de détection chimique. Dans ce travail, La sensibilité du capteur de gaz GAA MOSFET est comparée pour différentes valeurs du diamètre du cylindre, de la longueur de grille et de l’épaisseur de la couche d'oxyde de silicium afin d'obtenir la sensibilité optimale du capteur de gaz. Le logiciel de simulation utilisé est COMSOL Multiphysics