Elaboration et caractérisation des couches minces de l’oxyde d’étain (SnO2) déposées par la technique APCVD

Abstract

Dans ce travail, nous avons préparé des couches minces d’oxyde d’étain (SnO2) par la technique CVD à pression atmosphérique sur des substrats en verre. Nous avons étudié l’Effet du traitement thermique sur les propriétés structurales, morphologique et spectroscopique IR. Le dispositif expérimental de la technique APCVD utilisé pour la préparation des couches existe au niveau du laboratoire LASICOM de l’université Saad Dahlab de Blida. L’étude structurale par diffraction des rayons X a montré la formation du SnO₂ poly cristallin de structure tétragonale de type rutile avec une orientation préférentielle selon le plan (110). Les images MEB ont permis de définir la morphologie de couches obtenues. L’analyse spectroscopique effectuée par la spectroscopie IR a confirmé la formation du SnO₂ avec les modes de vibrations caractéristique des liaisons Sn-O et Sn-O-Sn.

Mots clés : L'oxyde d'étain, Couche minces, mode de vibration, DRX, Infrarouge (FTIR)