Etude des propriétés structurales et morphologiques des couches minces d’oxyde d’étain préparé par la méthode Sol Gel

Abstract

Dans ce travail, nous avons préparé des couches minces d'oxyde d’étain (SnO 2 ) par la méthode Sol-Gel (Trempage Tirage) sur des substrats en verre. Nous avons étudié les propriétés structurales et morphologiques dans le but d’optimiser quelques paramètres de dépôt comme le nombre de dip et la température de recuit. Les analyses structurales ont été effectuées par (DRX, MEB, EDS, FTIR - ATR). On a changé le nombre de dip entre 3 et 5 et le recuit des échantillons a 5 dip pendant 1h à des températures 200°C, 300°C et 400°C. L’analyse par diffraction des rayons X a montré que les échantillons non recuits ont une structure amorphe. On a confirmé l’existence des phases d’oxyde d’étain seulement pour les échantillons recuit, la structure de SnO 2 existe au-delà de la température 300°C. La spectroscopie FTIR nous a permis de montrer l’existence des liaisons Sn-O, Sn-OH, Sn-O-Sn. L'analyse EDS nous a permis de connaître les composants chimiques de nos échantillons. Mots clé : Couches minces, Sol-Gel, oxyde d’étain, DRX, MEB EDS, FTIR – ATR.