L'alternative MEMS capacitive et MEMS piézorésistive pour une application médicale

Abstract

Plusieurs domaines exigent l'utilisation des capteurs de pression avec des performances de plus en plus élevées. Dans ce travail nous allons comparer, l'alternative MEMS capacitive, à celle MEMS piézorésistive, pour une application médical. Une étude comparative permettra de déterminer les caractéristiques et les limites d’utilisation de ces dispositifs, en particulier : formes, dimensions, sensibilité, dérive thermique, consommation et linéarité sur l’intervalle de mesure de la pression artérielle