Etude et simulation d’une structure à peignes inter-digités (IDC)

Abstract

Dans un monde qui vit une avancée technologique sans précèdent, il y a une forte demande pour la miniaturisation. Afin de produire des dispositifs moins chers, fiables, maniables, de faible consommation d’énergie et de mesures en temps réel. Les microsystèmes sont définis comme étant des objets complexes hautement intégrés, qui peuvent exécuter des taches intelligents. Ces dispositifs peuvent faire appel à différents domaines physiques mécanique, optique, chimie, fluidique, biologie, etc. Leur taille varie du centimètre à la dizaine de micromètres et peuvent être intégrés dans des systèmes plus grands. Ils sont utilisés dans différentes disciplines : électronique, informatique, traitement de l’information, énergie. Ils sont appelés selon l’appellation Américaines MEMS (Micro – Electro - Mechanical - Systems) vue qu’au départ ils incluent des parties mobiles (ressorts poutres, rotors, etc.). Avec le développement et l’insertion de nouvelles fonctionnalités suivants le domaine d’applications, on a des nouvelles nominations telles : pour l'optique (MOEMS), pour les communications (RF-MEMS) et le secteur biomédical (BIO-MEMS).