Thermal annealing effect on thermal evaporated vanadium oxides thin film

Abstract

Vanadium oxide thin films have attracted considerable attention as potential candidates for many advanced applications such as: electrochromic devices; thermo chromic coatings; metal semiconductor transition materials; and electrodes for batteries. This diverse range of applications is made possible due to the several stable oxidation states of vanadium oxide (V 2 O 5 , VO 2 , VO, and V 2 O 3 ) which depend on the fabrication process, annealing treatment, and source material. In this Study, vanadium oxide thin films are prepared by thermal evaporation method is deposited on glass substrate. The films are annealed under different temperatures from 400°C to 550°C for various times to obtain desired oxygen phases of vanadium oxide thin films. After appropriate annealing step, V 2 O 5 structured thin films are reduced to mixture of lower oxygen states of vanadium oxide thin films which contains V 2 O 5 , VO 2 and VO X . Les films minces d'oxyde de vanadium ont attiré une attention considérable en tant que candidats potentiels pour de nombreuses applications avancées telles que ; les dispositifs électrochromiques, les revêtements thermochromiques, les matériaux de transition métal semi-conducteur et les électrodes pour batteries. Cette diversité d'applications est rendue possible grâce aux différents états d'oxydation stables de l'oxyde de vanadium (V 2 O 5 , VO 2 , VO, V 2 O 3 ) qui dépendent du procédé de fabrication, du traitement de recuit et du matériau source. Dans cette étude, les couches minces d'oxyde de vanadium sont préparées par évaporation thermique et déposées sur un substrat de verre. Les films sont recuits à différentes températures de 400°C à 550°C pendant plusieurs temps pour obtenir les phases d'oxygène souhaitées des films minces d'oxyde de vanadium. Après l'étape de recuit appropriée, les couches minces structurées de V 2 O 5 sont réduites à un mélange de couches minces d'oxyde de vanadium à l'état d'oxygène inférieur qui contient V 2 O 5 , VO 2 et VO X .