Dépôt d’une couche mince d’oxyde de titane sur un verre claire

Abstract

Puisque les applications des couches minces les plus utilisées dans les dernières décennies dans le but de limiter contre la fuite de lumière et la température…. etc. Dans cette étude nous avons élaboré des couches minces à base d’oxyde de titane « TiO₂ » sur le verre on utilisant la méthode de (PVD) Pulvérisation en phase vapeur c’est la pulvérisation cathodique magnétron. On a étudié l'évolution des caractéristiques lumineuse et électrique et structural, pour tous ce travaille en a utiliser plusieurs techniques comme suit : La microscopie électronique à balayage (MEB). La diffraction des rayons X (DRX). Caractérisation par spectroscopie des ions secondaires SIMS. Mesure électrique (résistivité l’émissivité) Les résultats obtenus en montré que la structure caractéristique de l’oxyde de titane est la structure (Rutile)