Etude des propriétés optiques de l'oxyde d'étain en couches minces déposées par la technique APCVD

Abstract

Dans ce mémoire, nous avons réalisé un travail expérimental consiste à l'élaboration et la caractérisation de l'oxyde d'étain en couches minces par la technique APCVD. Sous l'effet de la pression d'oxygène, nous avons mesuré les propriétés optiques telles que la transmission optique et l'énergie de gap. De plus, les propriétés structurales sont déterminées en fonction du même paramètre expérimental. Pour un débit d'oxygène de 5 ml/min, nous avons obtenu les meilleures propriétés optiques, à savoir l'énergie de gap de 3.4 eV et la transmission optique de 85%. Les résultats obtenus sont remarquables notamment dans les applications photovoltaïques et détection de gaz toxique. Mots clés : SnO2, pression d'oxygène, transmission, gap optique.