Etude de la modification des nanofils de silicium par des métaux nobles

Abstract

Dans ce travail, nous avons montré que les nanofils de silicium décorés par des métaux nobles peuvent être utilisés pour fabriquer un capteur de gaz d'hydrogène efficaces. La fabrication et la décoration des nanofils de silicium (NFSi) ont été réalisées par des méthodes chimiques simples. La morphologie des nanofils de silicium non décorés et décorés par des nanoparticules de platine (Pt), de palladium(Pd). d'argent (Ag) et d'or (Au) a été étudiée par microscopie électronique à balayage (MEB). La composition chimique de nanofils de silicium a été établie par spectroscopie de masse d'ions secondaires (SIMS) et par l'analyse dispersive des rayons X (EDX). Les structures de type Al / NFSi/p-Si/Al ont été fabriquées. Les caractérisations électriques I(V) et I(t) ont été effectuées dans l'obscurité à température ambiante, sous vide primaire et à différentes concentrations du gaz H2. Il a été constaté que le métal utilisé pour la décoration des nanofils de silicium influe fortement sur la réponse du courant en fonction de la tension I(V). Ainsi, les caractéristiques et les performances de détection des capteurs de gaz H2 ont été étudiées en fonction des différentes décorations