Etude des couches minces des oxydes ZnO et SnO2 sur le verre et quartz pour application à la détection des gaz.

Abstract

Dans ce travail, nous avons montré qu'une technique simple, rentable, et flexible peut être utilisée avec succès pour déposer des couches minces d'oxydes métalliques semi-conducteurs, pour des applications de détection gazeuse. On s'est intéressé dans la première partie à l'élaboration des couches minces de deux semi-conducteurs de type oxyde métallique : l'oxyde de zinc (Zno) et l'oxyde d'étain (SnO2), et à l'étude de leurs propriétés morphologiques, structurales et électriques qui ont été préparées par la technique spray pyrolyse. La deuxième étape est relative à l'élaboration d'une couche de ZnO sur un micro balance à quartz (QCM) pour une application à la détection des gaz, qui a été évaluée par la mesure de la réponse en décalage de fréquence du capteur. Mots clés : Oxyde de zinc, Oxyde d'étain, Spray pyrolyse, propriétés des couches minces, QCM, détection des gaz.