Elaboration des nanofils de siliciums par gravure chimique assistée par un métal

Abstract

Un réseau homogène de nano fils de Silicium enrobés d'Or a été fabriqué par la combinaison de la lithographie à nano sphères et de la gravure chimique assistée par un métal pour obtenir des substrats de spectroscopie Raman exaltée par effet de surface (SERS) hautement efficaces. Des nanostructures 3D avec différents rapports d'aspect et des géométries bien définies ont été produites en ajustant les paramètres de fabrication afin de sélectionner la meilleure configuration pour l'analyse SERS. Une telle approche représente une alternative peu coûteuse aux procédés de nano fabrication traditionnels pour obtenir des nanostructures de silicium bien ordonnées offrant de multiples degrés de liberté dans la conception de différentes géométries telles que la distance entre fils, la densité des fils sur la surface ainsi que leur Longueur, montrant ainsi un grand potentiel pour la fabrication de substrats SERS.