Contribution à la conception et la réalisation d'un fluxmètre à base d'oxyde de vanadium.

Abstract

Ce travail de master consiste à étudier les propriétés structurelles et électriques des couches de dioxyde de vanadium (VO2) dans le cadre de développer une application d'un capteur MEMS telle que les fluxmètres . Les couches minces de VO2 ont été déposées par ablation laser (PLD) sur substrat de silicium. Une caractérisation des dépôts a été faite par des techniques d'analyse structurelle et électrique. Les résultats obtenus après la caractérisation électriques montrent que la caractéristique résistance-température dévoile une ponte transition très importante. Cette propriété offre à ces couches déposées à être de bonne candidates pour les applications d'un fluxmètre. En effet, les expérimentations faites montrent que nous couches déposées pouvent être utilisées dans la réalisation d'un fluxmètre.