Influence des paramètres géométriques sur les paramètres des transistors MOS

Abstract

Depuis plus de 30 ans, l'industrie des semi-conducteurs est Connu pour la rapidité de production des composants de nouvelle génération ,Toujours de plus en plus efficace. Depuis 1970, cette évolution a été décrite La loi de Gordon Moore, qui stipule le double du nombre Les composants de chaque circuit tous les dix-huit mois. Augmentation de la densité d'intégration et de la vitesse du circuit L'augmentation continue a conduit à la réalisation de dispositifs submicroniques et L'émergence de limites physiques intrinsèques. C'est pourquoi, grand Des laboratoires de recherche du monde entier s'unissent Feuille de route internationale sur la technologie des semi-conducteurs (ITRS) identifier les principaux défis techniques