Etude de l’effet du type de la couche d’isolation sur un détecteur de particules à l’aide des outils de simulation TCAD-SILVACO

Abstract

Dans ce projet de fin d’études, nous avons fait une étude préliminaire à l’aide des outils TCAD du logiciel SILVACO sur un détecteur de particules de type planaire. Ce dernier est dédié pour la physique des hautes énergies dans le cadre de l’expérience ATLAS du CERN. Cette étude a concerné l’évaluation des performances électriques pour trois types d’isolation entre les pixels appelés p-spray, p-stop et p-moderate. L’effet de la charge positive présente dans l’oxyde sur le détecteur a été évalué pour chaque structure