Résumé:
L’objet de ce travail est l’élaboration des revêtements de dioxyde d’étain (SnO2) et de caractériser leur réflectivité dans le domaine infrarouge à travers un guide d¡¦onde. Ces revêtements ont été déposes par la méthode spray pyrolyse sur substrats de verre chauffes a 480¢XC pendant 10 mn. Sous l¡¦effet de dopage de fluor l’étude des propriétés de ces couches a été faite par les méthodes : DRX, UV-Visible et proche infrarouge, MEB et la méthode quatre pointes. La synthèse des résultats a donné:
- Les couches sont polycristallines d’orientation (101) et (211) avant le dopage et (200), (211) après le dopage en fluore. La taille cristallite est comprise entre 22 et 26 nm.
- Les résultats de transmittance montrent que les couches élaborées non dopées et dopées ont des valeurs autour de 75%, et que leurs énergies de gap varient de 4 a 4.16 eV. L¡¦indice de réfraction des ces couches est de l¡¦ordre 1.93.
- Quant aux résultats électriques, le minimum de la résistivité carrée a été obtenue pour le dopage de 6% en fluore et qu’un figure de mérite, faisant l’assemblage de deux gradeurs électrique et optique, a été obtenu et qui est de l’ordre 6.18 x10-3 £[-1
- Le microscope électronique à balayage (MEB) a montré l’homogénéité de nos films, alors que l’(EDS) ne détecte pas le fluor.
- La spectroscopie (UV-Visible-NIR) révèle la bonne réflectivité infrarouge des couches minces dopées 12% qui fera le bon choix d’utilises ce type des couches dans les guides d’onde infrarouge.