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https://di.univ-blida.dz/jspui/handle/123456789/10083
Titre: | « Réalisation des doigts interdigités sur AlN » |
Auteur(s): | Khoudria, M ed Amine Tifoura, Hani Ouassim |
Date de publication: | 2020 |
Résumé: | L’objectif de ce travail c’est la réalisation des doigts interdigités sur AlN , pour application a un capteur de température a base de SAW. Cette réalisation est basée sur le traitement de photolithographie a l’aide de masque imprimé suite une simulation par Matlabplusieurséchantillons ont ete réalises avec différentsdémontion et espacement entre les IDT. nous avons utilisé deux modèle de résines a savoir ; AZ5214E et RER500.Cette étude a comme but la réalisation des micro motifs .La dernière étape c »est la métallisation et la libération des doigts et la caractérisation des dispositif ainsi que la mesure de signal. |
Description: | 4.621.1.784 ; 84 p ; illustré |
URI/URL: | http://di.univ-blida.dz:8080/jspui/handle/123456789/10083 |
Collection(s) : | Mémoires de Master |
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Fichier | Description | Taille | Format | |
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