Etude et conception d’un micro actionneur électrostatique pour un déplacement   submicronique XY d’un dispositif de photocoagulation au laser

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Titre:	Etude et conception d’un micro actionneur électrostatique pour un déplacement submicronique XY d’un dispositif de photocoagulation au laser
Auteur(s):	Kebbal, Ali Bensmaili, Ahmed
Mots-clés:	MEMS ; Electrostatique ; Peignes interdigités ; Lentilles optiques.
Date de publication:	2013
Editeur:	Univ Blida1
Résumé:	Ce mémoire présente une étude et simulation d’un micro actionneur électrostatique à base de peignes interdigités, permettant le déplacement sur un plan. Il accomplira la tâche d’amélioration du procédé de la photocoagulation au laser. Pour cela nous avons réalisé une étude RDM pour s’assurer de sa résistance, suivi de l’étude de l’actionnement électrostatique, et la simulation est réalisée sous Comsol Multiphysis. Dans le souci d’amplifier les déplacements nous avons utilisé un système de lentilles optiques. Et pour finir nous avons proposé les étapes à suivre en fabrication de notre micro actionneu
Description:	4.621.1.170 ; 96 p illustré ; 30 cm
URI/URL:	http://di.univ-blida.dz:8080/xmlui/handle/123456789/1556
Collection(s) :	Mémoires de Master

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