Modeling, Design and Simulation of SiC concentrically matched differential capacitance output pressure sensors

Abstract

Cette thèse se penche sur l'étude et l'analyse de capteurs de pression haute performance utilisant du carbure de silicium (SiC) et la technologie MEMS, en mettant en avant les avantages des propriétés du SiC adaptées aux hautes températures. Elle se concentre sur les instruments de tête de forage en grande profondeur autour d'un capteur de pression capacitif. La mesure de l'instrumentation est basée sur la sortie de la capacité différentielle et la conception CMC. Cette étude passe en revue divers types de capteurs et détaille les processus de conception, de fabrication et d'analyse de circuits. Une modélisation et une simulation avancées utilisant FEM et COMSOL Multiphysics sont employées pour examiner le comportement de l'élément sensible CMC dans des conditions sévères. La recherche démontre la performance et la fiabilité améliorées des capteurs capacitifs à base de SiC, fournissant un cadre complet pour leur conception et optimisation.