Elaboration et caractérisation des filmes minces d'oxyde d'étain dope antimoine par la technique APCVD

Abstract

Ce Mémoire présente les propriétés électriques et optiques des films mince conducteurs et transparents d'oxyde d'étain dopé à l’antimoine (SnO2:Sb) . L'accent est mis sur les films obtenus au laboratoire LASICOM par la méthode Chimique en Phase Vapeur sous Pression Atmosphérique (APCVD). Une étude comparative est faite avec d 'autre méthodes On présente les propriétés électriques et optiques de ces dépôts préparés sur des substrats en verre. Les méthodes de caractérisation que nous avons utilisées sont : la mesure de la conductivité et l'effet Hall à la température ambiante ainsi que les mesures des spectres de transmission optiques, l’indice de réfraction et l’épaisseur de couche. L'analyse de diagramme de diffraction X et de spectropie de rayons X (XRF) , ainsi que l'étude de la texture de surface en microscopie électronique à balayage complètent notre étude. L'ensemble des résultats est interprété et analysés dans la perspective d'une utilisation de ces films dans les domaines de la conversion de l'énergie solaire et capteur de gaz