Suppression par Cristaux Phononiques (PnC) des Modes d’Ondes acoustiques Parasites dans les Structures à Onde de Substrat «BAW».

Abstract

Dans ce travail, les propriétés des réflecteurs de Bragg (bande interdite fréquentielle) ont été étudiées pour les applications de résonateur à onde acoustique de volume (BAW) a hautes fréquences afin d'interdire la propagation latérale du mode de Lamb parasite TE). Les réflecteurs de Bragg sont sous la forme de structure périodique sont déposé sur l'électrode supérieure du résonateur. L'étude est faite par simulation de la Méthode des Eléments Finis Comsol Multiphysiques. Les résultats montrent la caractérisation d'une bande interdite fréquentielle par l'ajout des réflecteurs de Bragg. Cette bonde interdite peut être réajustée en jouant sur les paramètres géométriques du réseau. A condition que la période de réseau et la hauteur sont réglées respectivement à 12.68 um, et 0.1um, la distance entre les structures périodiques est w=p/2 afin d'éliminer les ondes acoustiques latérales parasites. La réponse du résonateur est ainsi améliorée en supprimant les parasites due à la propagation des ondes transversales le long de la structure, cette amélioration est jugée sur la base de la diminution de l'énergie dissipée à la fréquence de résonance et à l'antirésonance simultanément Mots clés : FBAR, Réflecteur de Bragg, Piézoélectricité, Onde de Lamb, Simulation MEF.