Capteur de densité et de viscosité de fluide a base de microresonateur a onde de lamb.

Abstract

Dans ce travail nous avons procédé à l'étude d'un microcapteur à base de résonateur à ondes de Lamb. En effet, en partant d'un modèle d'un résonateur à ondes de Lamb, nous l'avons adapté afin de concevoir un capteur de viscosité et de densité de fluide. En effet, nous avons essayé de présenter graduellement les différents aspects de ce capteur en commençant par un état de l'art sur les MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) et des microcapteurs plus particulièrement. Un aperçu sur la théorie des ondes de LAMB et de l'élasticité à été introduit. Notre modèle nous a permis d'étudier la sensibilité potentielle de ce capteur pour différents type de sucre et de concentration, par la méthode des éléments finis (FEM). Nous avons même proposé un flot de microfabrication et de déposition des couches minces. Dans cette étude un capteur de viscosité et de densité de fluide a été modélisé théoriquement et numériquement. Nous sommes arrivés à estimer plusieurs paramètres important sensibles à l'évolution des modes de vibrations avec la viscosité des fluides tel que : le facteur de qualité et le paramètre S qui varient avec les différentes concentrations de sucre comme liquide référence.