Résumé:
Le travail demandé dans ce master est la réalisation d’un simulateur (outil informatique en
c++) décrivant le processus d’interaction HF/Si(100) en utilisant la méthode de Monte Carlo
cinétique dans la gestion des molécules HF arrivant sur le substrat cristallin Si(100) dopé p et
en introduisant les mécanismes de réaction, désorption, diffusion, recombinaison et transfert de
charge dans la gestion des phénomènes de surface.
Les mécanismes intervenant dans l’interaction HF/Si(100) substrat type p, ne sont pas connus
de façon certaine. Le consensus actuel proposé par Lehmann et Gösele permettant l’obtention
du silicium poreux étant le suivant : Si (bulk) + 6 HF →H
2
SiF
6
+ H
2
+ 2 H
+
+ 2é avec le Si
(Bulk) restant qui devient poreux. Cette réaction est généralement obtenue en anodisant une
plaque de silicium dans une solution aqueuse d’acide fluorhydrique. Le passage d’un courant,
dans certaines conditions, permet de générer l’espèce soluble H
2
SiF
6
. Du fait de ce manque de
mécanismes exacts aussi bien physiques que chimique le silicium poreux résultant est resté
longtemps une curiosité de laboratoire. En 1990, la découverte de ses surprenantes propriétés
de photoluminescence intense à température ambiante dans le visible a relancé l’intérêt pour ce
matériau. Le fait de pouvoir choisir l’indice de réfraction, en jouant sur la porosité, en fait un
matériau de choix pour la réalisation de dispositifs photoniques. De gros efforts de stabilisation
de sa surface, par greffage de monocouches auto-assemblées, afin de l’isoler du milieu
extérieur, le conduisent à un matériau plus stable.
Pour ce qui concerne le développement du simulateur, il s’agit d’adapter le Simulateur
SPARCC (Simulateur PARticulaire de la Croissance Cristalline) à l’interaction HF/Si(100), en
introduisant de nouveaux mécanismes.
Mots Clés : Cinétique Monté Carlo (KMC), Simulation sur ordinateur, couches minces pour
micro et nanotechnologies, Anodisation, semiconducteur, Silicium poreux
