Résumé:
Avec la demande croissante de trouver de nouvelles performances des matériaux
destinés à être utilisés comme couches minces actives dans des dispositifs
technologiques notamment de capteurs thermiques, nous avons étudié l'effet du
courant de polarisation sur les propriétés thermorésistive des couches minces d'oxyde
de vanadium déposées par évaporation thermique sous vide et ayant subi un postrecuit.
Notre étude montre que le temps de recuit affecte la structure cristalline et la
morphologie de surface des couches. Les couches déposées sont polyphasiques et
présentent une compétition de phase.
Les caractéristiques I-V montrent deux régimes de conduction électrique donnant lieu à
une augmentation de la résistivité et du coefficient de température de la résistance
(TCR) à un courant seuil qui dépend du temps de recuit. Ainsi à température ambiante,
la couche ayant subi un recuit de 10 min montre un meilleur compromis entre le TCR et
la résistivité, à savoir un TCR de −1,9%/°C et une résistivité de 1,6 Ωcm pour une
polarisation à 1 µA et un TCR de −4%/° C et une résistivité de 5 Ωcm pour une
polarisation de 100 µA. Ces résultats montrent l'intérêt à accorder au courant de
polarisation lorsque l'oxyde de vanadium est utilisé comme couche active dans les
capteurs thermiques. Les mots clés : Capteur de température : définition, Types des capteurs de température, Thermistances à couche mince, Facteurs critiques : TCR, résistivité, Matériaux pour thermistance, Oxyde de vanadium : définition, Stratégies pour améliorer les facteurs critiques.
