Techniques de fabrication des microsystèmes .1, Structures et microsystemes électromecaniques en couches minces

dc.contributor.author	Labachelerie, Michel de
dc.date.accessioned	2024-10-06T08:24:14Z
dc.date.available	2024-10-06T08:24:14Z
dc.date.issued	2004
dc.identifier.isbn	2746208172
dc.identifier.uri	https://di.univ-blida.dz/jspui/handle/123456789/30936
dc.description	327-IV p.: ill.; 25 cm	fr_FR
dc.language.iso	fr	fr_FR
dc.publisher	Hermès science publications	fr_FR
dc.relation.ispartofseries	Traité EGM;
dc.subject	Microtechnologie	fr_FR
dc.subject	Systèmes microélectromécaniques	fr_FR
dc.subject	Dispositifs à couches minces	fr_FR
dc.title	Techniques de fabrication des microsystèmes .1, Structures et microsystemes électromecaniques en couches minces	fr_FR
dc.type	Book	fr_FR