Résumé:
Les méthodes d’analyse par faisceau d’ions, issues de la physique nucléaire, trouvent de
nombreuses applications en physique des matériaux, radioprotection et physique médicale. Elles
reposent sur l’interaction entre des ions rapides et les atomes du matériau, permettant de récolter des
informations détaillées sur l’épaisseur, la stœchiométrie et la composition élémentaire. Les techniques
RBS et NRA permettent de déterminer expérimentalement les concentrations d’éléments légers
comme le carbone et l’oxygène dans des cibles solides d’oxydes telles que SiO
2
/Si et SnO
2
/Bi/Si. Le
dioxyde de silicium, en particulier, est largement utilisé dans diverses applications technologiques en
raison de sa résistance aux environnements de rayonnements intenses. La technique NRA est
particulièrement efficace pour détecter et quantifier les éléments légers et leurs isotopes, malgré sa
sensibilité variable. Les expériences réalisées ont permis de recueillir des données précieuses pour
l’amélioration des techniques d'analyse des matériaux par faisceau d’ions, démontrant l’efficacité et
les défis associés à la NRA et à la RBS. Les résultats obtenus ouvrent de nouvelles perspectives pour
l’optimisation des procédés de fabrication et la caractérisation des matériaux complexes.
Mots clés : Techniques Nucléaires, Spectrométrie de Rétrodiffusion de Rutherford (RBS), Analyse
par Réactions Nucléaires (NRA), Stœchiométrie, épaisseur, concentrations élémentaires.
