Résumé:
Ce présent travail a pour objectif l’élaboration et la caractérisation des couches minces de dioxyde d’étain par la technique de Déposition Chimique a Phase Vapeur (APCVD) sur des substrats en verre. En vue d’obtention des couches minces de bonne qualité destinée à l’utilisation dans la détection des gaz. Les échantillons de SnO2 non dopé et dopé Nickel ont été élaborés en variant le pourcentage du Nickel pour des valeurs de (1%, 3% et 5%) dans la solution précurseur. On s’est intéressé à l’étude de l’influence de la concentration du dopant
sur les propriétés des couches minces de SnO 2. Les spectres de DRX ont révélé que nos dépôts ont une structure tétragonale de type rutile.
A partir de la spectroscopie FTIR nous avons montré que toutes les vibrations des liaisons chimiques correspondent aux groupes fonctionnels existant dans le réseau SnO2.
Le calcul de l’énergie de gap par UV-Visible a montré que le gap diminue avec l’augmentation de la concentration.
Mots clé : SnO2, couches minces, DRX, FTIR,UV-Vis , taille des grains.
