Résumé:
Dans cette recherche, nous avons présenté les résultats de l'analyse structurale et morphologique de nos dépôts de SnO2 en couches minces non dopé déposé sur des substrats en verre par la technique APCVD. L'analyse structurale par la diffraction des rayons x a révélé que nos dépôts ont une structure rutile avec une orientation préférentielle (110). L'analyse de la morphologie a porté essentiellement sur l'effet de la variation du flux d'oxygène sur la rugosité et la tailles des cristallites. Afin de déterminer la variation de la taille des cristallites en fonction du flux d'oxygène, trois méthodes ont été utilisées, la première méthode consiste à utiliser la formule Scherrer, la seconde et la troisième méthode porte sur l'utilisation des images AFM et MEB. Les résultats obtenus par les trois méthodes montre que la rugosité et la taille moyenne des grains augmentent avec l'augmentation du flux d'oxygène. La topographie des images AFM et MEB ont révélées que la morphologie de nos dépôts de SnO2 en couches minces est similaire à celle obtenue par d'autres techniques et conditions de dépôts.
Mots clés : Dioxyde d'étain, Déposition chimique en phase vapeur, Nanostructures, Morphologie, couches minces, microscopie à force atomique
