Résumé:
Nous nous intéressons dans ce travail au calcul de la probabilité de diffusion d'ions lents (quelques Kev) par une surface solide, ce calcul est basé sur la résolution de l'équation de Boltzmann dans la théorie de transport. Dans ce modèle valable pour les faibles angles de diffusion, les collisions sont binaires et la distribution des centres diffuseurs dans la cible est homogène, ce travail est pour but l'étude de l'effet de la perte d'énergie sur la probabilité de diffusion d'ions par une surface solide à basse énergie. Nous avons décrit l'interaction projectile-atome cible par un potentiel coulombien écranté proposé par Zigler - Birsack - Littmark potentiel (ZBL), Nous avons considéré les systèmes He+/Si et He+/Ni pour différentes valeurs de l'énergie incidente des projectiles .Différentes valeurs de l'angle de diffusion ont été étudiées. Dans une première étape, nous avons calculé AP, la probabilité de diffusion en négligeant la perte d'énergie du projectile dans la cible .Cependant, pour les grandes valeurs du parcours dans la cible, la perte d'énergie devient importante et donc non négligeable. Nous avons ainsi calculé la probabilité de diffusion AP2 en tenant compte de cet effet .En calculant la correction relative apporté à la probabilité de diffusion, nous avons montré qu'elle dépend inversement à l'énergie incidente et l'angle de diffusion et proportionnellement au numéro atomique de la cible et de distance parcourue.
