Résumé:
Dans ce travail, nous avons préparé des couches minces d'oxyde d’étain (SnO
2
) par la méthode
Sol-Gel (Trempage Tirage) sur des substrats en verre. Nous avons étudié les propriétés
structurales et morphologiques dans le but d’optimiser quelques paramètres de dépôt comme le
nombre de dip et la température de recuit. Les analyses structurales ont été effectuées par (DRX,
MEB, EDS, FTIR - ATR). On a changé le nombre de dip entre 3 et 5 et le recuit des échantillons
a 5 dip pendant 1h à des températures 200°C, 300°C et 400°C. L’analyse par diffraction des
rayons X a montré que les échantillons non recuits ont une structure amorphe. On a confirmé
l’existence des phases d’oxyde d’étain seulement pour les échantillons recuit, la structure de
SnO
2
existe au-delà de la température 300°C. La spectroscopie FTIR nous a permis de montrer
l’existence des liaisons Sn-O, Sn-OH, Sn-O-Sn. L'analyse EDS nous a permis de connaître les
composants chimiques de nos échantillons.
Mots clé : Couches minces, Sol-Gel, oxyde d’étain, DRX, MEB EDS, FTIR – ATR.
