Résumé:
L’objectif de ce travail c’est la réalisation des doigts interdigités sur AlN , pour application a
un capteur de température a base de SAW. Cette réalisation est basée sur le traitement de
photolithographie a l’aide de masque imprimé suite une simulation par
Matlabplusieurséchantillons ont ete réalises avec différentsdémontion et espacement entre les
IDT. nous avons utilisé deux modèle de résines a savoir ; AZ5214E et RER500.Cette étude a
comme but la réalisation des micro motifs .La dernière étape c »est la métallisation et la
libération des doigts et la caractérisation des dispositif ainsi que la mesure de signal.