Etude et conception d’un micro actionneur électrostatique pour un déplacement    submicronique XY d’un dispositif de photocoagulation au laser

KEBBAL, Ali; BENSMAILI, Ahmed

dc.contributor.author	KEBBAL, Ali
dc.contributor.author	BENSMAILI, Ahmed
dc.date.accessioned	2022-05-10T09:51:12Z
dc.date.available	2022-05-10T09:51:12Z
dc.date.issued	2012
dc.identifier.uri	https://di.univ-blida.dz/jspui/handle/123456789/15793
dc.description	4.621.1.170 ; 96p	fr_FR
dc.description.abstract	Ce mémoire présente une étude et simulation d’un micro actionneur électrostatique à base de peignes interdigités, permettant le déplacement sur un plan. Il accomplira la tâche d’amélioration du procédé de la photocoagulation au laser. Pour cela nous avons réalisé une étude RDM pour s’assurer de sa résistance, suivi de l’étude de l’actionnement électrostatique, et la simulation est réalisée sous Comsol Multiphysis. Dans le souci d’amplifier les déplacements nous avons utilisé un système de lentilles optiques. Et pour finir nous avons proposé les étapes à suivre en fabrication de notre micro actionneur.	fr_FR
dc.language.iso	fr	fr_FR
dc.publisher	blida1	fr_FR
dc.subject	MEMS ; Electrostatique ; Peignes interdigités ; Lentilles optiques. Abstract : This paper presents a study and simulation of an electrostatic micro actuator ba	fr_FR
dc.title	Etude et conception d’un micro actionneur électrostatique pour un déplacement submicronique XY d’un dispositif de photocoagulation au laser	fr_FR