Université Blida 1

Etude et conception d’un micro actionneur électrostatique pour un déplacement submicronique XY d’un dispositif de photocoagulation au laser

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dc.contributor.author KEBBAL, Ali
dc.contributor.author BENSMAILI, Ahmed
dc.date.accessioned 2022-05-10T09:51:12Z
dc.date.available 2022-05-10T09:51:12Z
dc.date.issued 2012
dc.identifier.uri https://di.univ-blida.dz/jspui/handle/123456789/15793
dc.description 4.621.1.170 ; 96p fr_FR
dc.description.abstract Ce mémoire présente une étude et simulation d’un micro actionneur électrostatique à base de peignes interdigités, permettant le déplacement sur un plan. Il accomplira la tâche d’amélioration du procédé de la photocoagulation au laser. Pour cela nous avons réalisé une étude RDM pour s’assurer de sa résistance, suivi de l’étude de l’actionnement électrostatique, et la simulation est réalisée sous Comsol Multiphysis. Dans le souci d’amplifier les déplacements nous avons utilisé un système de lentilles optiques. Et pour finir nous avons proposé les étapes à suivre en fabrication de notre micro actionneur. fr_FR
dc.language.iso fr fr_FR
dc.publisher blida1 fr_FR
dc.subject MEMS ; Electrostatique ; Peignes interdigités ; Lentilles optiques. Abstract : This paper presents a study and simulation of an electrostatic micro actuator ba fr_FR
dc.title Etude et conception d’un micro actionneur électrostatique pour un déplacement submicronique XY d’un dispositif de photocoagulation au laser fr_FR


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