Résumé:
L’industrie de la microélectronique connaît depuis ses origines un développement
extraordinaire tant les possibilités d’applications qu’elle ouvre sont nombreuses et
prometteuses. Cependant, la fabrication de circuits intégrés toujours plus complexe d’une
génération à l’autre n’est possible que grâce à des innovations incessantes autorisant leur
faisabilité.
D’un point de vue technologique, c’est avant tout par la réduction des dimensions
critiques des dispositifs élémentaires utilisés dans la microélectronique (notamment la longueur
de grille et l’épaisseur d’oxyde dans les transistors MOS, Métal–Oxyde–Semiconducteur) et
par l’abaissement des tensions d’alimentation que les technologies actuelles et futures
permettent et permettront d’atteindre des performances élevées autant en termes de rapidité de
commutation qu’en termes de densité d’intégration
