Résumé:
Cette thèse se penche sur l'étude et l'analyse de capteurs de pression haute
performance utilisant du carbure de silicium (SiC) et la technologie MEMS, en mettant
en avant les avantages des propriétés du SiC adaptées aux hautes températures. Elle se
concentre sur les instruments de tête de forage en grande profondeur autour d'un
capteur de pression capacitif. La mesure de l'instrumentation est basée sur la sortie de
la capacité différentielle et la conception CMC. Cette étude passe en revue divers types
de capteurs et détaille les processus de conception, de fabrication et d'analyse de
circuits. Une modélisation et une simulation avancées utilisant FEM et COMSOL
Multiphysics sont employées pour examiner le comportement de l'élément sensible
CMC dans des conditions sévères. La recherche démontre la performance et la fiabilité
améliorées des capteurs capacitifs à base de SiC, fournissant un cadre complet pour leur
conception et optimisation.
