Résumé:
Plusieurs domaines exigent l'utilisation des capteurs de pression avec des
performances de plus en plus élevées. Dans ce travail nous allons comparer, l'alternative
MEMS capacitive, à celle MEMS piézorésistive, pour une application médical. Une étude
comparative permettra de déterminer les caractéristiques et les limites d’utilisation de ces
dispositifs, en particulier : formes, dimensions, sensibilité, dérive thermique, consommation et
linéarité sur l’intervalle de mesure de la pression artérielle